AlN  镀膜片

2"  AlN Templates

产品型号：    AlN on Sapphire Wafer

尺    寸：    dia50.8+/-1 mm

衬    底：    Sapphire Wafer (Al2O3)

薄膜厚度：    Option 1: 3um+/-10%

              Option 2: 3~4 um

晶体取向：    C-plane <0001>+/-1

导电类型：    Semi-Insulating

位错密度：    Option 1: Xrd FWHM of (0002) < 500 arcsec

                      Xrd FWHM of (10-12) < 2000 arcsec

              Option 2: Xrd FWHM of (0002) < 450 arcsec

                      Xrd FWHM of (10-12) < 600 arcsec

有效面积：    > 90%

抛    光：    Standard : SSP

包    装：    Packaged in class 100 clean room environment, in cassettes of 25pcs

              Or single wafer containers,under a nitrogen atmosphere.