单晶
掺杂
导电 类型
载流子浓度cm-3
位错密 度cm-2
生长方法 最大尺寸
标准 基片
GaAs
noneSiCrFeZn
SiNSiNP
∕ >5×1017∕ ~2×1018>5×1017
<5×105
LECHBΦ3″
Φ3″×0.5Φ2″×0.5