YSZ 单晶基片

氧化锆单晶是ZrO2中掺入钇(Y)以稳定其结构,一般实际使用的是YSZ单晶——加入钇稳定剂的氧化锆单晶。它的机械、化学稳定性好,价格低廉,因而得到大面积的应用。

技术参数

化学分子式

Zr(91):Y(9)O2

晶体结构

Cubic

晶格常数

a=5.125 A

密 度

5.8g/cm3

熔 点

2500 ℃

纯 度

99.99%

介电常数

27

热膨胀系数

10.3 x 10-6/℃

产品规格:

晶 向

<100>、<110>、<111>±0.5º

尺 寸

dia2” x 0.5mm 25 x 25 x 0.5mm 15 x 15 x 0.5mm
10 x 10 x 0.5mm 10 x 5 x 0.5mm 5 x 5 x 0.5mm

可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底。

抛 光

单面抛光
双面抛光

表面粗糙度

Surface roughness(Ra):<=5A
可提供原子力显微镜(AFM)检测报告

标准包装:

100级超净袋或单片晶盒封装。