氮化铝（AlN）单晶片
物性参数 | |
| 晶体结构 | 铅锌矿型结构 |
| 晶格常数 | a=3.112Å , c=4.982 Å |
| 导带类型 | 直接带隙 |
| 晶体密度 | 3.23 g/cm3 |
| 表面努氏硬度 | 800 |
| 熔 点 | 2750 ℃（10-100 bar氮气下） |
| 导热系数 | 320 W/m·k |
| 禁带宽度 | 6.28 eV |
| 电子迁移率 | 1100 V·s/cm2 |
| 击穿场强 | 11.7 MV/cm |
| 声波速率 | 11,300 m/s |
| 制备方法 | 物理气相沉积 |
| 常用规格参数 | |||
| 晶型 | 2H | ||
| 晶向 | (0001) ± 0.5° | ||
| 尺寸 | 10 x 10mm （5x5mm,dia10mm,dia15mm,dia20mm,dia25.4mm,dia50.8mm） | ||
| 厚度 | 400 ± 50 μm | ||
| 表面 | 铝面：化学抛光（双抛可定制） | ||
| 表面粗糙度（Ra） | 铝面：<0.5 nm 氮面（背面）：< 1.2 μm | ||
| 质量等级 | S级（Super） | P级（Production） | R级（Research） |
| HRXRD 半高宽@(0002) (arcsec) | <= 150 | <= 300 | <= 500 |
| HRXRD半高宽@(10-12)(arcsec) | <= 100 | <= 200 | <= 400 |
| 吸收系数@265nm（cm-1） | <= 50 | <= 70 | <= 100 |
| 边缘去除区（mm） | 1 | 1 | 1 |
| 划痕 | No | No | No |
| 崩边 | No | No | <=3 累计<=1.0mm |
| 可用面积 | >= 90% | ||
| 总厚度变化（TTV） | <= 30μm | ||
| 翘曲度（Rarp） | <= 30μm | ||
| 弯曲度（Bow） | <= 30μm | ||
| 裂纹 | 无，裸眼，强光 | ||
| 表面污染 | 无，裸眼，散射光 | ||
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