蓝宝石基氮化铝（AlN film on Sapphire wafer）薄膜片
| 规格参数 | |||
| 基材 | 蓝宝石衬底 C-plane | ||
| AlN 外延层晶体结构 | 铅锌矿 | ||
| 直径（inch） | 2 | 4 | 6 |
| 基材厚度（μm） | 430±15 | 650±20 | 1300±20 |
| AlN外延层厚度（nm） | 200/400/600/800/1000或定制，本表参数以200nm为例 | ||
| 晶面取向 | C-axis (0001) ±0.2° | ||
| 有效面积 | > 95% | ||
| 裂纹 | No | ||
| HRXRD 半高宽@(0002) (arcsec) | < 100 | ||
| HRXRD 半高宽@(10-12) (arcsec) | < 350 | ||
| 表面粗糙度（5x5μm）(nm) | Ra <= 2 | ||
| 总厚度变化（μm） | <= 10 | <= 20 | <= 20 |
| 翘曲度（μm） | <= 20 | <= 40 | <= 60 |
| 弯曲度（μm） | <= 20 | <= 40 | <= 60 |
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