铝钪氮蓝宝石外延片 （AlScN on Al2O3 wafer）
在已知的滤波器压电材料中，氮化铝薄膜C向声波传播速度可达12000m/s（传统衬底材料的声波传播速度低于4000m/s）。
氮化铝具有良好的化学和热稳定性，以及对外界环境如压力、温度、应力、气体等具有极高的灵敏性，且与常规传统的硅基CMOS技术相兼容，因而氮化铝薄膜是5G高频SAW/BAW滤波器及MEMS传感器中最优秀的压电材料。
同时，掺杂钪的氮化铝薄膜能大幅提升氮化铝薄膜的压电系数，从而提高SAW/BAW的机电耦合系数，是新一代5G射频SAW/BAW滤波核心衬底材料。
| 产品规格参数 | |||
| 直径（inch） | 2 | 4 | 6 |
| 基材 | 蓝宝石衬底 C-plane | ||
| 基材厚度（μm） | 430±15 | 650±20 | 1300±20 |
| Sc 浓度（at%） | 40±5 | ||
| AlScN 外延层厚度（nm） | 800 | ||
| 晶面取向 | C-axis (0001) ± 0.2° | ||
| 有效面积 | > 95% | ||
| 裂纹 | No | ||
| HRXRD 半高宽 @ (0002) (arcsec) | <= 120 | ||
| 表面粗糙度Ra（5x5μm）(nm) | <= 10 | ||
| 总厚度变化（μm） | <= 10 | <= 20 | <= 20 |
| 翘曲度（μm） | <= 20 | <= 40 | <= 60 |
| 弯曲度（μm） | <= 20 | <= 40 | <= 60 |
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