铝钪氮硅基外延薄膜（AlScN on Silicon wafer）
目前我司可向客户提供4/6/8英寸的高质量、不同厚度的硅基铝钪氮薄膜模板。
该产品是5G射频前端SAW/BAW滤波器、MEMS压电传感器，以及各种高功率、高频电子器件的最佳衬底材料。
| 规格参数 | |||
| 直径（inch） | 4 | 6 | 8 |
| 基材 | 硅单晶片（100）面 | ||
| 基材厚度（μm） | 525±20 | 625±15 | 725±15 |
| Sc 浓度（at%） | 40 ± 5 | ||
| 掺杂类型 | N-type/Ph | ||
| AlScN 外延层厚度（nm） | 800 | ||
| 晶面取向 | C-axis (0001) ± 0.2° | ||
| 有效面积 | > 95% | ||
| 裂纹 | No | ||
| HRXRD 半高宽 @ (0002) | <= 2.0° | ||
| 表面粗糙度（5x5μm）(nm) | <= 5 | ||
| 总厚度变化（μm） | <= 10 | <= 5 | <= 4 |
| 翘曲度（μm） | <= 25 | <= 40 | <= 40 |
| 弯曲度（μm） | <= 25 | <= 40 | <= 40 |
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